Bộ Thương mại Hoa Kỳ thiết lập máy gia tốc EUV tại NY, cơ sở hàng đầu đầu tiên cho Trung tâm công nghệ bán dẫn quốc gia

Bộ Thương mại Hoa Kỳ, ngày 31 tháng 10Cùng với Natcast, tổ chức phi lợi nhuận vận hành Trung tâm công nghệ bán dẫn quốc gia (NSTC), nó thông báo rằng họ sẽ cài đặt "Máy gia tốc cực tím (EUV) cực đoan"Tôi đã làm điều đó. Khoảng 825 triệu đô la sẽ được đóng góp cho máy gia tốc EUV theo chip và luật khoa học (Đạo luật Chips Plus). Khu phức hợp Nanotech Albany được điều hành bởi NY Creates, một cơ quan hỗ trợ phi lợi nhuận cho nghiên cứu và phát triển chất bán dẫn tiên tiến.

Bộ Thương mại tuyên bố rằng họ sẽ tổ chức "Tầm nhìn và Chiến lược của NSTC" vào tháng 4 năm 2023 (Bộ Thương mại Hoa Kỳ công bố tầm nhìn và), sự chú ý đã thu hút sự chú ý về nơi các trung tâm nghiên cứu và phát triển sẽ được thiết lập. Bộ Thương mại cho biết trong một tuyên bố rằng tiếp xúc với EUV là một công nghệ quan trọng để sản xuất hàng loạt bóng bán dẫn vượt quá thế hệ 7 nanomet (nm), và nghiên cứu và phát triển của nó là rất cần thiết để đạt được ba mục tiêu của NSTC: mở rộng lãnh đạo kỹ thuật của Hoa Kỳ, giảm thời gian và chi phí tạo ra nguyên mẫu, và xây dựng và duy trì hệ sinh thái. Vì thiết bị phơi nhiễm EUV yêu cầu công nghệ tiên tiến, người ta nói rằng chỉ có ASML của Hà Lan mới có thể được phát triển và sản xuất.

Máy gia tốc EUV dự kiến ​​sẽ bắt đầu hoạt động vào năm 2025 và các tính năng chính của nó bao gồm:

• Truy cập vào các thiết bị tiếp xúc EUV tiên tiến bao gồm các hệ thống EUV ATRE (NA) AREV (lưu ý) và khả năng nghiên cứu và phát triển thế hệ tiếp theo (các hệ thống NAEUV tiêu chuẩn dự kiến ​​là 2025, các hệ thống NAEUV cao dự kiến ​​sẽ là 2026)
• Thúc đẩy sự hợp tác với các cơ quan công nghiệp, học viện và chính phủ và thúc đẩy đổi mới công nghệ
• Natcast sử dụng các cơ sở NSTC, hỗ trợ từ các nhà nghiên cứu NSTC
• Các chương trình hỗ trợ để hỗ trợ bảo mật, phát triển và phát triển tài năng
• Mở rộng tư cách thành viên và sự tham link m88 của NSTC trong khi quảng bá một môi trường nghiên cứu và phát triển mở và hợp tác tại tất cả các cơ sở của NSTC

Thư ký Hội đồng Gina Lemond nhấn mạnh tầm quan trọng của vấn đề, nói trong một tuyên bố rằng việc thành lập cơ sở hàng đầu đầu tiên sẽ là một "cột mốc quan trọng để đảm bảo rằng Hoa Kỳ tiếp tục vẫn là một nhà lãnh đạo toàn cầu trong nghiên cứu và phát triển đổi mới và bán dẫn."

Ngoài ra, Bộ Thương mại cũng đã thông báo rằng họ sẽ công bố quy trình chọn các trung tâm kỹ thuật liên kết của NSTC trong những tháng tới.

(Lưu ý) NA là một chỉ số về độ phân giải của thiết bị phơi sáng.

(Akahira Daiju)